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微电子学院集成光子芯片团队在《Optics Express》上发表研究成果

发布时间：2022-06-13 16:44:23 浏览次数：279 来源：上海大学若有侵权请联系400-0815-589删除

近日，微电子学院集成光子芯片团队在硅基偏振不敏感光子滤波器研究上取得进展，成果被国际知名光学期刊《Optics Express》接收发表，题为“Demonstration of polarization-insensitive optical filters on silicon photonics platform”。微电子学院2020级硕士研究生叶凯琳为第一作者，团队负责人胡挺教授为通讯作者，上海大学为第一署名单位。

绝缘体上硅(Silicon On Insulator, SOI)凭借其与成熟的互补金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, CMOS)工艺兼容的优势，成为主流的集成光子芯片材料。虽然SOI中硅和二氧化硅之间的高折射率差有利于实现结构紧凑的光子器件，但高折射率差光波导具有很大的双折射效应，这导致器件对偏振十分敏感。光子滤波器是实现各种集成光子回路与系统的关键器件之一，在SOI上实现偏振不敏感的光子滤波器(polarization-insensitive optical filter, PIOF)是非常重要和有意义的。

本论文对偏振不敏感的光子滤波器进行了深入研究，采用偏振分集与微环谐振滤波相结合的方案，提出了一种新的结构紧凑的设计，在SOI上实现了偏振不敏感的光子滤波器。芯片采用CMOS兼容工艺在8英寸SOI晶圆上完成制作。测试结果表明器件在C波段实现了“箱型”滤波谱线，具有~0.15 nm的3 dB带宽和大于30 dB的高消光比。该工作为在SOI上构建偏振不敏感的集成光子回路与系统提供了一种潜在的解决方案。

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